パーティクル モニターでは、次の 3 つの監視方法が一般的に使用されます。

光散乱法：レーザー光源から発せられた光が測定対象粒子に照射されて光散乱が起こり、一定方向の光電変換素子で散乱光信号を受信する方法が基本原理です。これには、散乱光の数と強度が含まれます。検出された散乱光の数は粒子の数を表し、光強度信号は粒子のサイズを表します。この方法では粒子数を直接求めることもできますが、統計計算を行った上で質量濃度に換算することも可能です。

光線法：光線が媒体上に現れると、粒子は媒体中の電子と衝突し、エネルギーを失い吸収されますが、低エネルギー条件下では、粒子サイズ、組成、色、分散状態には依存せず、品質に依存します。媒体の。雰囲気ガスはサンプリングヘッドによりサンプリング管内に吸引され、ろ紙を通して排出され、粒子がろ紙上に堆積します。光線が粒子を含む濾紙を通過すると、エネルギーは減衰します。粒子の質量濃度は、減衰前後の光線エネルギーを測定することで計算できます。

微振動バランス方式：微振動バランス方式では、質量センサーに振動する中空円錐管を使用し、その振動端に交換可能なフィルター膜を取り付けます。振動周波数はコーンチューブの特性や品質によって異なります。サンプリングガスの流れがフィルターを通過し、フィルター上に粒子が堆積し、フィルターの品質の変化により振動周波数が変化すると、フィルター上に堆積した粒子の質量は、次の変化から計算されます。振動周波数と、この期間における粒子の質量濃度は、流量、現場の周囲温度、気圧に応じて計算されます。

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